Pompe a diffusione, criopompe e pompe ad adsorbimento (escluse le pompe utilizzate nella produzione di semiconduttori o display a schermo piatto)
Pompe per vuoto (escl. pompe utilizzate nella produzione di semiconduttori o display a schermo piatto, pompe a pistoni rotanti, pompe rotative a palette scorrevoli, pompe a trascinamento molecolare, pompe roots, pompe a diffusione, pompe criopompe e pompe ad adsorbimento)