Vakuumpumper (ekskl. pumper, der bruges i produktion af halvledere eller fladskærme, roterende stempelpumper, glidende vingerotationspumper, molekylære trækpumper, rootspumper, diffusionspumper, kryopumper og adsorptionspumper)
Diffusionspumper, kryopumper og adsorptionspumper (ekskl. pumper, der bruges i produktion af halvledere eller fladskærme)