Maskiner og apparater, der udelukkende eller hovedsagelig anvendes til fremstilling af halvlederstave, skiver og komponenter samt elektroniske integrerede kredsløb og fladskærme; maskiner og apparater som nævnt i bestemmelse 11 c til dette kapitel; dele og tilbehør
Dele og tilbehør til maskiner og apparater, af den art der udelukkende eller hovedsagelig anvendes til fremstilling af halvlederskiver eller wafers, halvlederanordninger, elektroniske integrerede kredsløb eller fladskærme samt til maskiner og apparater specificeret i bestemmelse 9 c til kapitel 84, ib.
Maskiner og apparater specificeret i note 11 c til kapitel 84
Maskiner og apparater til fremstilling af fladskærme
Maskiner og apparater til fremstilling af halvlederkomponenter eller elektroniske integrerede kredsløb
Maskiner og apparater til fremstilling af kugler eller wafers