Diffusionspumpen, kryopumpen und adsorptionspumpen (ausg. pumpen für die herstellung von halbleitern oder flachbildschirmen)
Vakuumpumpen (ausg. pumpen für die herstellung von halbleitern oder flachbildschirmen sowie drehschieberpumpen, sperrschieberpumpen, molekularpumpen, wälzkolbenpumpen, diffusionspumpen, kryopumpen und adsorptionspumpen)