Maschinen, apparate und geräte von der ausschließlich oder hauptsächlich zum herstellen von halbleiterbarren (boules), halbleiterscheiben (wafers) oder halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten schaltungen oder flachbildschirmen verwendeten art; in anmerkung 11 c zu diesem kapitel genannte maschinen, apparate und geräte; teile und zubehör
Maschinen, apparate und geräte zum herstellen von flachbildschirmen
Maschinen, apparate und geräte zum herstellen von halbleiterbarren "boules" oder halbleiterscheiben "wafers"
Maschinen, apparate und geräte zum herstellen von halbleiterbauelementen oder elektronischen integrierten schaltungen
Teile und zubehör für maschinen, apparate und geräte von der ausschließlich oder hauptsächlich zum herstellen von halbleiterbarren "boules", halbleiterscheiben "wafers" oder halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten schaltungen oder flachbildschirmen verwendeten art sowie der in anmerkung 9 c zu kapitel 84 genannten maschinen, apparate und geräte, a.n.g.
Maschinen, apparate und geräte in anmerkung 11 c zu kapitel 84 genannt