Elektrische industrie oder laboratoriumsöfen, einschließlich induktionsöfen oder öfen mit dielektrischer erwärmung; andere industrie oder laboratoriumsapparate zum warmbehandeln von stoffen mittels induktion oder dielektrischer erwärmung
Induktionsöfen oder öfen mit dielektrischer erwärmung
Teile von elektrischen industrie oder laboratoriumsöfen, einschl. von solchen induktionsöfen oder solcher öfen mit dielektrischer erwärmung sowie von industrie oder laboratoriumsapparaten zum warmbehandeln von stoffen mittels induktion oder dielektrischer erwärmung, a.n.g. (ausg. für die herstellung von halbleiterbauelementen auf halbleiterscheiben "wafers")
Apparate zum warmbehandeln von stoffen mittels induktion oder dielektrischer erwärmung (ausg. öfen)