Instrumente, apparate, geräte und maschinen zum messen oder prüfen, optisch, in kapitel 90 a.n.g.
Instrumente, apparate und geräte, optisch, zum prüfen von halbleiterscheiben "wafers" oder halbleiterbauelementen oder zum prüfen von fotomasken und reticles für die herstellung von halbleiterbauelementen