Maschinen, apparate und geräte von der ausschließlich oder hauptsächlich zum herstellen von halbleiterbarren "boules", halbleiterscheiben "wafers" oder halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten schaltungen oder flachbildschirmen verwendeten art; in anmerkung 11 c zu kapitel 84 genannte maschinen, apparate und geräte; teile und zubehör, a.n.g.
HS code
: 848600
GN code
: 84860000
Taric code
: 848600000080
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