Pompy dyfuzyjne, kriopompy i pompy adsorpcyjne (z wyłączeniem pomp stosowanych w produkcji wyświetlaczy półprzewodnikowych lub płaskich)
Pompy próżniowe (z wyłączeniem pomp stosowanych w produkcji wyświetlaczy półprzewodnikowych lub płaskich, pomp rotacyjnych tłokowych, pomp rotacyjnych łopatkowych, pomp z hamulcem molekularnym, pomp rootsa, pomp dyfuzyjnych, kriopomp i pomp adsorpcyjnych)