Maszyny i aparatura w rodzaju stosowanych wyłącznie lub głównie do produkcji kryształów półprzewodnikowych lub płytek półprzewodnikowych, elementów półprzewodnikowych, elektronicznych układów scalonych lub płaskich wyświetlaczy; maszyny i aparaty wyszczególnione w uwadze 11 c do niniejszego działu; części i akcesoria
Części i akcesoria do maszyn i aparatury w rodzaju stosowanych wyłącznie lub głównie do produkcji kulek lub płytek półprzewodnikowych, urządzeń półprzewodnikowych, elektronicznych układów scalonych lub płaskich wyświetlaczy panelowych oraz do maszyn i aparatury wymienionych w uwadze 9 c do działu 84, gdzie indziej niesklasyfikowane
Maszyny i aparatura do produkcji elementów półprzewodnikowych lub elektronicznych układów scalonych
Maszyny i urządzenia do produkcji kulek lub wafli
Maszyny i aparatura do produkcji wyświetlaczy płaskoekranowych
Maszyny i urządzenia wymienione w uwadze 11 c do działu 84