Przyrządy i urządzenia optyczne do kontroli płytek lub urządzeń półprzewodnikowych lub do kontroli fotomasek lub siatek stosowanych w produkcji elementów półprzewodnikowych
Przyrządy optyczne, urządzenia i maszyny do pomiaru lub kontroli, gdzie indziej niewymienione ani niewłączone w dziale 90