Pompes à diffusion, pompes cryostatiques et pompes à adsorption (à l’exclusion des pompes utilisées pour la fabrication de semiconducteurs ou de dispositifs d’affichage à écran plat)
Pompes à vide (à l’exclusion des pompes utilisées pour la fabrication de semiconducteurs ou de dispositifs d’affichage à écran plat, des pompes à piston tournant, pompes à palettes, pompes moléculaires, pompes roots, pompes à diffusion, pompes cryostatiques et pompes à adsorption)