Vacuümpompen (m.u.v. pompen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders of platte beeldschermen, draaizuigerpompen, draaischuifpompen, moleculaire sleeppompen, rootspompen, diffusiepompen, cryopompen en adsorptiepompen)
Diffusiepompen, cryopompen en adsorptiepompen (excl. pompen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders of platte beeldschermen)