Machines en apparaten van de soort die uitsluitend of hoofdzakelijk wordt gebruikt voor de vervaardiging van staven of schijven (wafers) van halfgeleidermateriaal, van elementen of schakelingen van halfgeleidermateriaal, van elektronische geïntegreerde schakelingen of van platte beeldschermen; machines en apparaten bedoeld bij aantekening 11, onder c), op dit hoofdstuk; delen en toebehoren
Onderdelen en toebehoren voor machines en apparaten van de soort die uitsluitend of hoofdzakelijk worden gebruikt voor de vervaardiging van halfgeleiderbolletjes of wafels, halfgeleiderinrichtingen, elektronische geïntegreerde schakelingen of platte beeldschermen, en voor machines en apparaten bedoeld in aantekening 9 c op hoofdstuk 84, nes
Machines en apparaten bedoeld in aantekening 11 c op hoofdstuk 84
Machines en apparaten voor de vervaardiging van halfgeleiderinrichtingen of van elektronische geïntegreerde schakelingen
Machines en apparaten voor de vervaardiging van platte beeldschermen
Machines en apparaten voor de vervaardiging van jeu de boules of wafels